Наша компания

    ООО "Лаборатория вакуумных технологий" (товарный знак Beams&Plasmas) занимается производством и разработкой технологических устройств и вакуумных технологических установок на их основе. Основными видами выпускаемых устройств являются:

    • магнетронные распылительные системы (МРС, магнетроны), специализированные под напыление различных материалов, а также сверхскоростные напылительные магнетроны, обеспечивающие скорость осаждения металлов до 40 мкм/мин;
    • ионные источники с холодным катодом, обеспечивающие линейную плотность тока до 25 мА/см длины рабочей зоны;
    • электронные пушки с блоками питания и управления электронным лучом, мощностью от 50 до 500 кВт, предназначенные для решения задач вакуумного напыления и электронно-лучевой плавки металлов;
    • высокочастотные генераторы плазмы, которые обеспечивают создание плотной низкотемпературной плазмы, являющейся универсальной технологической средой.

    Мы выпускаем несколько серий напылительных и плазмохимических установок различных модификаций (ИН, ТН, РС, ПС, МО/МТ, ПХО, ПХТ).

    Основное отличие установок "Ника" - интуитивно понятный интерфейс, высокие эксплуатационные характеристики и надежность.

    Продукция ООО "Лаборатория вакуумных технологий" пригодна для реализации задач:

    • магнетронное напыление;
    • ионно-плазменная обработка поверхности;
    • азотирование и карбонитрирование;
    • ионное ассистирование;
    • осаждение материалов в ионизованном состоянии (Ionized Vapour Deposition);
    • плазмохимическое травление и осаждение.

    При поставке технологических устройств и установок, а также в виде отдельной услуги осуществляется сопровождение в форме консультаций по техническим и технологическим вопросам.