close

    Обработка поверхности (3)

    Лаборатория вакуумных технологий разрабатывает и производит оборудование вакуумных систем для реализации следующих методов обработки поверхности:

    Данные технологии реализуются на установках серий Ника-2012 (модификации РСПСИН, ИПО), Ника-2013 (РС, ПС)  и Ника-2015

    Ионно-плазменная обработка поверхности – модификация поверхности изделий в высокоплотной плазме инертного или химически активного газа. Наиболее часто используется для образования на поверхности изделия бездефектного слоя, мало подверженного коррозии. Обработка в водородной плазме позволяет производить восстановление окисленной поверхности металлов. Обработка в кислородной плазме создаёт на плотную оксидную плёнку, обеспечивающую пассивацию поверхности подложки.

    Ионное травление производится при помощи источников ионов с холодным катодом. Скорость процесса зависит от материала, который необходимо травить, а также от допустимых тепловых нагрузках на подложки. К примеру, скорость травления меди составляет 0,5..2 мкм/час. Ионное травление позволяет производить травление в тех случаях, когда обычное химическое травление непригодно, например, при травлении платины.

    Применение разработанных Лабораторией вакуумных технологий источников высокоплотной плазмы (РПГ) в процессах ионно-плазменного азотирования и карбонитрирования позволяет проводить низкотемпературные (до 500 С) процессы, в том числе по нержавеющим сталям без потери ими коррозионной стойкости, с существенным увеличением твердости поверхностного слоя ( до 1200 по Hv) на глубину до 0.2 — 0.3 мм без образования «нитридной корки».

    Навигация по сайту