Технологии

    Ионно-плазменные технологии имеют множество применений в самых различных областях техники. Наши компетенции в применении этих технологий основаны на множестве разнообразных установок и процессов, запущенных нами в производстве микросборок (гибридная технология), полупроводниковых приборов и интегральных схем, МЭМС, LED, покрытий на лопатки турбин и многом другом.

    Консультируем по следующим вопросам:

    - магнетронное напыление металлов, сплавов, полупроводников и диэлектриков, в том числе сверхскоростное магнетронное напыление  таких металлов, как Cu, Sn, In, Ag и некоторых других (магнетрон в собственных парах);

    - реактивное магнетронное напыление из металлических и полупроводниковых мишеней различных материалов,таких как: SiO2, Si3N4, TiO2, TiN, ITO, ZnO, Al2O3, AlN, MgO, Ta2O5, TaN и др.;

    - ионная и ионно-плазменная очистка подложек перед напылением, в том числе в водороде.

    - ионное и ионно-плазменное ассистирование при напылении различными способами;

    - ионно-плазменное азотирование и карбонитрирование;

    - плазмохимическое осаждение диэлектриков;

    - плазмохимическое травление некоторых материалов (SiO2, Si3N4,моноSi и поликремний, GaAs, GaN, фоторезист, полиимид);

    - электронно-лучевая плавка и рафинирование металлов;

    - модернизация имеющегося вакуумного технологического оборудования для осуществления вышеперечисленных технологий.


    «ЛВТ» выпускает мощные электронные пушки, основное применение которых –плавка и рафинирование тугоплавких металлов. Максимальная мощность одной пушки — 400 кВт, ускоряющее напряжение – 30..50 кВ. Уникальная система развёртки позволяет использовать одну пушку для распределения мощности пучка между несколькими объектами нагрева.