Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

    Берлин Е.В., Сейдман Л.А. «Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением». - М., Техносфера, 2014. - 256 с.

    Берлин Е.В., Сейдман Л.А. «Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением». - М., Техносфера, 2014. - 256 с.Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представля- ющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография.

    Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управ- ления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечи- вающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок.

    Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава.

    Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления.

    Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совер- шенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

    Книгу можно заказать по почте наложенным платежом. Цена - 1000 рублей.