Генераторы плазмы (Плазмотрон)

    Безэлектродная плазма индуктивного высокочастотного разряда является универсальной средой для проведения широкого спектра технологических процессов:

    • ионное и плазмохимическое травление,
    • осаждение материалов (в том числе реактивное),
    • ионно-плазменная обработка поверхности (полировка, азотирование, карбидизация и т. п. ) и т. д.

    Генератор плазмы - универсальное технологическое устройство для широкого применения таких процессов, отвечает всем требованиям, предъявляемым в промышленном производстве.

    Основной элемент генератора - плоская катушка, через которую пропускается ток промышленной частоты (13,56 МГц). Генераторы выполнены в алюминиевом корпусе, снабжёны коаксиальным вводом.

    Рабочая поверхность защищена сапфиром и съёмным защитным экраном из кварцевого стекла, что позволяет легко производить его очистку.

    Похожие материалы (по тегу)

     


    РПГ-128 – высокочастотный индукционный (безэлектродный) генератор высокоплотной плазмы для технологических применений, специально сконструированный для установки во фланец смотрового окна установок типа УВН-71 или аналогичных. Поскольку в свое время ионный источник типа «Радикал» был выполнен именно для этой геометрии фланца, то РПГ-128 может устанавливаться и во фланцах вместо этого устройства (установки типа «70-я» и «79-я» Калининградского завода «Кварц» и т.п.) РПГ-128 предназначен для генерации высокоплотной плазмы (1-2*1012 см-3 при мощности ВЧ-питания13,56 МГц, 1 кВт) в различных газах и их смесях в широком диапазоне…
    РПГ-250 - безэлектродный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности, предназначенный для установки внутри технологического объёма вакуумной камеры. Устройство может быть использовано для широкого ряда технологических процессов: напыление различных материалов в плазме инертных или химически активных газов; ионное и плазмохимическое травление; испарение, в том числе с дополнительной ионизацией паров; плазмостимулированное осаждение из газовой фазы; ионная модификация поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация и т.п.); ионные очистка и ассистирование; высокотемпературный отжиг. {tab Принцип действия} Рис. 1. Устройство генератора плазмы Радиочастотный генератор плазмы РПГ-250 пригоден для использования…