close
    Меню каталога circle-down

    Резистивный термический испаритель

    Напыление материалов в вакууме методом термического испарения остаётся одной из основных технологий, используемой для широкого спектра применений, несмотря на постепенное вытеснение магнетронным напылением и осаждением из газовой фазы. Этот метод отличается низкой стоимостью технологических устройств и оснастки, а также простотой освоения технологии. Наиболее распространённый способ нагрева материала - резистивный, пропусканием тока через лодочку, выполненную из тугоплавкого металла (вольфрам, молибден, тантал).

    Принцип действия – испарение материалов из тугоплавкой лодочки, нагреваемой протеканием тока силой 100..500 А. Объём загружаемого материала – до 2 см3.

    Назначение: испарение магнитных и немагнитных материалов для вакуумного напыления методом резистивного нагрева.

    Мы предлагаем термические испарители, предназначенные для вакуумного напыления методом резистивного нагрева. Питание осуществляется при помощи компактного водоохлаждаемого сильноточного трансформатора, размещаемого непосредственно на вакуумном вводе устройства и внешнего блока питания, обеспечивающего стабилизацию мощности нагрева. Непрерывный контроль тока и мощности, выделяемой в испарителе позволяет точно определить момент завершения процесса напыления и увеличить срок службы лодочки.

    Макс. мощность, кВт

    2

    Максимальный ток, А

    500

    Масса, кг

    2




    Навигация по сайту