Технологические устройства и оснастка

    В линейке оборудования "Лаборатории вакуумных технологий" представлены системы нагрева подложек, термические испарители и системы перемещения и вращения подложек различной сложности: плоские карусели, планетарные системы. 


    Напыление материалов в вакууме методом термического испарения остаётся одной из основных технологий, используемой для широкого спектра применений, несмотря на постепенное вытеснение магнетронным напылением и осаждением из газовой фазы. Этот метод отличается низкой стоимостью технологических устройств и оснастки, а также простотой освоения технологии. Наиболее распространённый способ нагрева материала - резистивный, пропусканием тока через лодочку, выполненную из тугоплавкого металла (вольфрам, молибден, тантал). Принцип действия – испарение материалов из тугоплавкой лодочки, нагреваемой протеканием тока силой 100..500 А. Объём загружаемого материала – до 2…
    "Лаборатория вакуумных технологий" производит различные системы перемещения и вращения подложек любой сложности: плоские карусели, планетарные системы.    
    Также мы производим высоко- и низкотепературные системы нагрева до 450° с контролем и стабилизацией температуры подложек. Для плоских каруселей и цилиндрических барабанов.
    Трансформатор термического испарителя (ЛЦМК.331.00.00.00.000) предназначен для преобразования переменного напряжения и обеспечения гальванической развязки для питания термических испарителей. Компактный водоохлаждаемый сильноточный трансформатор размещен на вакуумном вводе устройства, идет комплектом с блоком питания к резистивному термическому испарителю. Непрерывный контроль тока и мощности, выделяемой в испарителе позволяет точно определить момент завершения процесса напыления и увеличить срок службы лодочки. Трансформатор доступен в двух модификациях: ТТИ-1000-2-5-500 - стандартный; ТТИ-1000-2-25-100 - пятивитковый для нагревателя. Напыление материалов в вакууме методом термического испарения - основная технология для широкого спектра применений.…
    В комплекте с термическим испарителем для вакуумного напыления резистивным нагревом предлагаются внешний блок питания, обеспечивающий стабилизацию мощности нагрева. Блок питания ТИ (ЛЦМК.326.00.00.00.000) предназначен для питания одного или двух промежуточных трансформаторов термических испарителей. Укомплектован одним, двумя, или тремя силовыми модулями, что позволяет подключать один, два, или три трансформатора испарителей, соответственно. Управление осуществляется по протоколу обмена данными MODBUS RTU. Водоохлаждаемый сильноточный трансформатор, размещаемый на вакуумном вводе, также поставляется в комплекте с ТИ.  Параметр Значение Максимальная потребляемая мощность, Вт а) одноканальное исполнение б)…