Круглые магнетроны

    Круглые магнетроны - устройства, предназначенные для распыления круглых мишеней

    Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда, нанесение металлов, сплавов и диэлектриков в реактивном режиме.

    Мишенедержатель и магнитная система имеют независимые друг от друга каналы охлаждения. Отвод тепла от магнитов обеспечивается с помощью охлаждаемого шунта, исключающего контакт магнитов с водой, тем самым срок их службы увеличивается.

    Варианты исполнения:

    •  обычные,
    • сверхскоростные,
    • в герметичном корпусе,
    • со встроенной заслонкой и приводом,
    • высокочастотные.

    Параметр

    Д100

    Д75

    Д50

    Рабочее напряжение, В

    300..800

    Рабочее давление, Па

    0,07..10

    Форма мишени

    круглая

    Максимальная толщина мишени, мм

    10

    8

    6

    Диаметр мишени, мм

    95..100

    72..75

    48..50

    Максимальная мощность, Вт

    3500

    2500

    1200

    Масса, кг

    2,6

    1,5

    0,8

    • магнетронное напыление металлов и сплавов с сохранением исходного состава,

    • термическое испарение в магнетронном разряде,

    • реактивное напыление диэлектриков.