Протяжённые магнетроны

    Протяжённые (линейные) магнетроны - устройства, предназначенные для распыления прямоугольных мишеней

    Назначение: нанесение ионным распылением различных материалов: металлов, сплавов, а также диэлектриков в реактивном режиме.

    Мишенедержатель и магнитная система имеют независимые друг от друга каналы охлаждения. Отвод тепла от магнитов обеспечивается с помощью охлаждаемого шунта, исключается контакт магнитов с водой, тем самым срок их службы увеличивается.

    Варианты магнетронов: обычные, сверхскоростные, с перемещаемой магнитной системой, в герметичном корпусе, со встроенной заслонкой и приводом, высокочастотные. Стандартные длины мишеней - 145, 250, 400, 600, 800 мм. Также возможно изготовление любых под параметры заказчика. 

    Параметр

    Магнетрон-800

    Магнетрон-600

    Магнетрон-400

    Магнетрон-145

    Рабочее напряжение, В

    300..800

    Рабочее давление, Па

    0,07..10

    Форма мишени

    прямоугольная

    Максимальная толщина мишени, мм

    20

    20

    20

    12

    Ширина мишени, мм

    80

    Длина мишени, мм

    800

    600

    400

    145

    Максимальная мощность, кВт

    20

    18

    12

    3,5

    Масса, кг

           
    • магнетронное напыление металлов и сплавов с сохранением исходного состава,

    • термическое испарение в магнетронном разряде,

    • реактивное напыление диэлектриков.