Модернизация

    ООО "Лаборатория вакуумных технологий" осуществляет модернизацию различных вакуумных технологических установок, в частности, УВН-71, УВН-73..75, а также установок «Оратория-9», УВН-70 и УВН-79, а также УВН-4 и УВН-15 ("казанская бочка"). Производится замена арматуры вакуумной системы, средств откачки и измерения вакуума. Устанавливаются новые блоки управления вакуумной системой, распределения охлаждающей жидкости.

    В зависимости от задач возможна доукомплектация установок технологическими устройствами - магнетронными распылительными системами, ионными источниками, нагревателями, радиочастотными генераторами плазмы, а также современными блоками, вакуумметрами и датчиками. Итоговая модернизируемая установка имеет полностью автоматизированное управление вакуумной системой и технологическим процессом. Возможен удалённый контроль за исправностью установки, обновление ПО и технологические консультации через Интернет.

    Мы модернизируем любое вакуумное оборудование под задачи Заказчика.

    Пример модернизации установки УВН-71П3 для магнетронного напыления

    В качестве примера, на рис. приведён результат модернизации установки УВН-71П3 для магнетронного напыления. Установка оснащена:

    1. сухой безмасляной системой откачки на основе спирального форвакуумного и криогенного насосов;
    2. полностью автоматизированным управлением вакуумной системой и технологическим циклом, вплоть до возможность удалённого контроля и диагностики через Интернет;
    3. технологическими устройствами: источником ионов и магнетроном;
    4. современными блоками питания.

    Рис. Установка магнетронного напыления на базе УВН-71П3

    Установка магнетронного напыления на базе УВН-71П3

    Часть прежних блоков была оставлена по договорённости с заказчиком для экономии средств.

    Похожие материалы (по тегу)