close
    Меню каталога circle-down

    Установка плазмохимического осаждения Ника-2014 ПХО

    Назначение: Плазмохимическое осаждение диэлектриков.

    Технологии:  

    осаждение SiO2, SiN, αCH, металлов и металлоорганических соединений;

    оптический контроль скорости и толщины осаждения. 

    Состав:

    генератор плазмы РПГ-250;

    охлаждаемый или нагреваемый стол с гелиевым теплоотводом;

    система газораспределения для равномерного осаждения.


    Навигация по сайту