Установка напыления резистивных слоев Ника-2013 РС

    Назначение: напыление резистивных слоев, ионная очистка и травление

    Технологии: 

    магнетронное распыление металлических и силицидных мишеней;

    нанесение слоёв сложного состава сонапылением из двух мишеней;

    ионная очистка и травление слоёв;

    нанесение защитных диэлектрических покрытий поверх резистивного слоя;

    напыление/травление заданного номинала по свидетелю сопротивления.

    Состав: 

    барабан для одностороннего нанесения;

    до четырёх магнетронов для напыления подслоя, резистивного слоя (из металлических или силицидных мишеней) и защитного слоя;

    источник ионов для активации подложек и травления слоёв;

    нагреватель с функцией поддержания заданной температуры.

    3..4 канала подачи рабочих газов.

     

    Похожие материалы (по тегу)