Установка напыления проводящих слоев Ника-2013 ПС

    Вакуумный пост Ника-2013 Вакуумный пост Ника-2013

    Установка для нанесения толстых металлических слоёв методом магнетронного распыления. 

    Назначение: нанесение толстых металлических слоёв методом термовакуумного испарения в магнетронном разряде на керамические подложки. Для обеспечения адгезии проводящего слоя предусмотрено напыление металлического (Cr, Ti, Ta) или диэлектрического подслоя. В последнем случае обеспечивается минимальные резистивные потери в СВЧ схемах.

    Технологии: 

    ионная очистка подложек;

    магнетронное распыление металлических мишеней;

    магнетронное распыление магнитных материалов (никель);

    термовакуумное испарение в магнетронном разряде с высокой скоростью нанесения (до 1 мкм/мин на вращающуюся карусель, до 60 мкм полной толщины на всю загрузку);

    напыление диэлектрического подслоя (опционально).

    Состав:  

    ионный источник ИИ-400; 

    магнетрон-400 для напыления металлического (Cr, Ti, Ta) или диэлектрического подслоя;

    магнетрон-400 для нанесения толстого слоя металла (Cu, Ag) методом термовакуумного испарения в магнетронном разряде;

    магнетрон-400 для нанесения защитного слоя Ni;

    барабан для одностороннего или двустороннего напыления;

    два канала подачи рабочих газов;

    нагреватель (опционально).

    Похожие материалы (по тегу)