Установки серии Ника-2013-500

    Малогабаритная промышленная установка большой производительности с горизонтальной камерой. Выпускается в двух модификациях: ПС-О (проводящие слои с охлаждением) и МО/МТ (магнетронное осаждение/травление).

    Назначение:

    магнетронное травление проводящих и диэлектрических слоёв (МО/МТ);

    напыление многослойных покрытий на охлаждаемую подложку для ионно-плазменного и плазмохимического травления различных проводящих и диэлектрических слоёв (ПС-О).

    Подложки 60x48 мм либо диаметром 100 мм.

    Технологии:

    Ионно-плазменное травление, плазмохимическое травление (MT), плазмохимическое осаждение (PECVD) (МО), напыление проводящих, резистивных и диэлектрических слоёв на охлаждаемую подложку, ионное травление (ПСО), PVD.

    Состав:

    Машина имеет цилиндрическую камеру с горизонтальной осью из нержавеющей стали Ø500х500 мм с рубашкой охлаждения.

    Массогабаритные характеристики: 1600х1600х1900 мм, 800 кг. Занимаемая площадь с зоной обслуживания - 3 м2 .

    Система откачки - безмасляная (криогенный или турбомолекулярный насос, сухой спиральный насос).

    Задний фланец: четыре позиции ISO63 для технологических устройств: до трёх магнетронов, ионный источник или генератор плазмы. Устройства напыления оснащены автоматическими заслонками.

    Загрузка: 15 прямоугольных подложек 60x48 мм либо 10 круглых диаметром 100 мм.

    Похожие материалы (по тегу)

     

    Медиа