Установка Ника-2012-500 МН с увеличенной камерой

    Установка магнетронного напыления НИКА-2012-500 - полный функциональный аналог установок серии УВН-71, отличается от других установок серии увеличенной цилиндрической камерой 500х400 мм. Предназначена для магнетронного и термического напыления, ионного травления, плазмохимических процессов.

    Установка магнетронного напыления НИКА-2012-500 имеет в составе 4 технологических устройства в зависимости от назначения (магнетрон, термический испаритель, источник ионов, генератор плазмы). Сухая откачка на основе криогенного или турбомолекулярного насоса.

    Базовые технические характеристики установок Ника-2012-500 следующие: 380В, 50 Гц, 24 кВт; габариты: 1020 х 1450 х 1900, внутренний диаметр камеры 500, высота 400. Масса 750 кг.

    Первая в серии установка — Ника 12-500 МН ПС/РС (проводящих/резистивных слоев). укомплектована следующими технологическими устройствам: 3 или 2 магнетрона, 1 ионный источник. Подходит как для двустороннего так и одностороннего напыления слоев. Загрузка: до 15 подложек 60х48. С криогенной откачкой.