ООО "Лаборатория вакуумных технологий" осуществляет модернизацию различных вакуумных технологических установок, в частности, УВН-71, УВН-73..75, а также установок «Оратория-9», УВН-70 и УВН-79, а также УВН-4 и УВН-15 ("казанская бочка"). Производится замена арматуры вакуумной системы, средств откачки и измерения вакуума. Устанавливаются новые блоки управления вакуумной системой, распределения охлаждающей жидкости.
В зависимости от задач возможна доукомплектация установок технологическими устройствами - магнетронными распылительными системами, ионными источниками, нагревателями, радиочастотными генераторами плазмы, а также современными блоками, вакуумметрами и датчиками. Итоговая модернизируемая установка имеет полностью автоматизированное управление вакуумной системой и технологическим процессом. Возможен удалённый контроль за исправностью установки, обновление ПО и технологические консультации через Интернет.
Мы модернизируем любое вакуумное оборудование под задачи Заказчика.
Пример модернизации установки УВН-71П3 для магнетронного напыления
В качестве примера, на рис. приведён результат модернизации установки УВН-71П3 для магнетронного напыления. Установка оснащена:
- сухой безмасляной системой откачки на основе спирального форвакуумного и криогенного насосов;
- полностью автоматизированным управлением вакуумной системой и технологическим циклом, вплоть до возможность удалённого контроля и диагностики через Интернет;
- технологическими устройствами: источником ионов и магнетроном;
- современными блоками питания.
Рис. Установка магнетронного напыления на базе УВН-71П3
Часть прежних блоков была оставлена по договорённости с заказчиком для экономии средств.
