Ионный источник ИИ-52

    ИИ-52 представляет собой малогабаритный, но мощный источник ионов, генерирующий трубчатый пучок. Источник предназначен, главным образом, для задач напыления тонких слоёв различных материалов. Высокая плотность ионного тока в пучке и малость его поперечныех размеров позволяет использовать мишени небольшого размера, что может быть решающим фактором при выборе технологии.

     

     

    ИИ-52 вид спереди ИИ-52_вид сверху
    вид спереди вид сверху

    Источник ионов ИИ-52 в работе показан на фотографии. Источник установлен в патрубке камеры (на фото справа) на расстоянии от мишени 230 мм (в качестве мишени использовалась фольга пермаллой толщиной 20 мкм).На этой фотографии хорошо виден ионный луч, имеющий при указанных параметрах весьма небольшую расходимость. Светящееся пятно на мишени — след попадания этого луча на мишень.

    Результат работы источника ионов ИИ-52 представлен на рис. 4 , 5 (источник установлен на расстоянии 230 мм до мишени).Ионный луч протравил отверстие в тугоплавкой фольге. Масштаб задаёт цифровой штангенциркуль. Очевидно, что размер мишени, который будет распылять такой источник при угле падения 30 градусов к плоскости мишени может составлять 40*80 мм.

    Монтаж: на скользящем уплотнении, на сильфонном подводе Ду25.

     

     Источник ионов ИИ-52 в работе ИИ-52 установлен по нормали к поверхности мишени ИИ-52 установлен под углом 45 градусов к поверхности мишени
    Источник ионов ИИ-52 в работе ИИ-52 расположен по нормали к поверхности мишени ИИ-52 установлен под углом 45 градусов к поверхности мишени

     

    Основные технические характеристики приведены в таблице.

    Параметр, ед. изм. Значение
    Тип источника круглый
    Конфигурация ионного пучка трубчатый
    Наружний диаметр корпуса, мм 52
    Диаметр пучка, мм 20
    Напряжение питания, кВ 3..4
    Максимальный ток пучка, мА (расход аргона 16,6 sccm) 120
    Угол расхождения пучка, º, не более 2

    Габаритный чертёж ИИ-52

     

    напыление металлов и диэлектриков ионным распылением.