![]() |
![]() |
вид спереди | вид сверху |
Источник ионов ИИ-52 в работе показан на фотографии. Источник установлен в патрубке камеры (на фото справа) на расстоянии от мишени 230 мм (в качестве мишени использовалась фольга пермаллой толщиной 20 мкм).На этой фотографии хорошо виден ионный луч, имеющий при указанных параметрах весьма небольшую расходимость. Светящееся пятно на мишени — след попадания этого луча на мишень.
Результат работы источника ионов ИИ-52 представлен на рис. 4 , 5 (источник установлен на расстоянии 230 мм до мишени).Ионный луч протравил отверстие в тугоплавкой фольге. Масштаб задаёт цифровой штангенциркуль. Очевидно, что размер мишени, который будет распылять такой источник при угле падения 30 градусов к плоскости мишени может составлять 40*80 мм.
Монтаж: на скользящем уплотнении, на сильфонном подводе Ду25.
![]() |
![]() |
![]() |
Источник ионов ИИ-52 в работе | ИИ-52 расположен по нормали к поверхности мишени | ИИ-52 установлен под углом 45 градусов к поверхности мишени |
Основные технические характеристики приведены в таблице.
Параметр, ед. изм. | Значение |
Тип источника | круглый |
Конфигурация ионного пучка | трубчатый |
Наружний диаметр корпуса, мм | 52 |
Диаметр пучка, мм | 20 |
Напряжение питания, кВ | 3..4 |
Максимальный ток пучка, мА (расход аргона 16,6 sccm) | 120 |
Угол расхождения пучка, º, не более | 2 |
Паспорт устройства (.pdf 403 кб).
напыление металлов и диэлектриков ионным распылением.
