Линейные ионные источники

     

     Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки. Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Предназначены для задач очистки, активации поверхности, ионного травления, ассистирования. 

    Доступны в трех стандартных типоразмерах: -145 мм, -400, - 600 мм. Также возможно изготовление ионных источников любой длины под задачи Заказчика.

    Источник ионов ИИ-145 Источник ионов ИИ-145 (вид снизу)
       

     ИИ-145 в работе

     

    Основные технические характеристики приведены в таблице.

    1. Параметр

    ИИ-145

    ИИ-400

    ИИ-600

      1. Напряжение питания, кВ

    1,5..5

      1. Максимальный ток пучка, мА*

    300

    650

    1000

    Газовая эффективность, мА/sccm*

    9

      1. Форма пучка

    Плоский полый прямоугольный

      1. Размеры пучка, ДхШ, мм

    120х42

    375х42

    575х42

      1. Угол расхождения пучка, не более º

    2

      1. Диапазон рабочих давлений в камере, Па

    0,001..10

      1. Рабочие газы

    Ar, H2, He, Xe, O2, N2, Ne, CxHy, CO2, CxFy

     * при напряжении питания 3 кВ, рабочий газ — Ar

    Габаритный чертёж ИИ-145

     

    • распыление материалов из диэлектрических и проводящих мишеней,

    • ассистирование при магнетронном напылении,

    • ионная очистка, травление,

    • полировка,

    • плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD),

    • модификация поверхности. 

     

    Похожие материалы (по тегу)