Источники ионов

    Источники ионов с холодным катодом производства ООО «ЛВТ» относятся к классу ускорителей с анодным слоем (УАС). Отличаются простотой и удобством в эксплуатации и высокой надежностью. Выдерживают более 10 лет интенсивной эксплуатации. Процессы перезарядки быстрых ионов позволяют использовать данные ионные источники без катодов-компенсаторов, что упрощает эксплуатацию. Источники типа УАС могут работать в высоковольтном режиме, также возможен сильноточный режим. Выпускаются две конфигурации: круглые, с трубчатым пучком, и протяженные, у которых есть значительный линейный участок.

    Задачи, решаемые при помощи данных источников:

    • ионно-лучевое распыление (работа с небольшими дорогостоящими мишенями),
    • ионное ассистирование при напылении,
    • ионное травление подложек.

    Их использование обеспечивает высокую адгезию материала и структурное совершенство напыляемых пленок.


       Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки. Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Предназначены для задач очистки, активации поверхности, ионного травления, ассистирования.  Доступны в трех стандартных типоразмерах: -145 мм, -400, - 600 мм. Также возможно изготовление ионных источников любой длины под задачи Заказчика.
    ИИ-52 представляет собой малогабаритный, но мощный источник ионов, генерирующий трубчатый пучок. Источник предназначен, главным образом, для задач напыления тонких слоёв различных материалов. Высокая плотность ионного тока в пучке и малость его поперечныех размеров позволяет использовать мишени небольшого размера, что может быть решающим фактором при выборе технологии.