Электронно-лучевое оборудование

    Мощные электронные пучки являются абсолютно чистым безынерционным источником нагрева с высокой (порядка 105 Вт/см2) удельной мощностью. 

    Электронный нагрев применяется в технологиях: плавки и рафинировании тугоплавких, жаропрочных и химически активных металлов и сплавов: титана, никеля, ниобия, циркония, гафния, молибдена, тантала, вольфрама и специальных марок сталей; испарения металлов при нанесении покрытий, производстве фольги, полупроводниковых приборов; испарения веществ для получения массивных деталей из несплавляемых материалов, например сплава медь-молибден; литья изделий из жаропрочных и тугоплавких металлов; изготовления многокомпонентных сплавов для мишеней магнетронных распылителей.

    Преимущества электронного нагрева состоят в следующем:

    • возможность ведения непрерывного процесса от выплавки изделий из исходного сырья до получения готовых изделий, что обеспечивает в 2…3 раза меньший по сравнению с традиционными методами нагрева расход энергии на единицу конечного продукта;
    • очень высокая скорость испарения материалов, обеспечивающая производительность напылительных установок, недостижимую другими методами.

    ООО "Лаборатория вакуумных технологий" изготавливает, поставляет и оказывает помощь по вводу в эксплуатацию электронно-лучевых энергоустановок мощностью 10…600 кВт. Энергоустановки включают в себя электронные пушки, источники питания и устройства управления электронным лучом. Они предназначены для комплектования вновь создаваемых электронно-лучевых технологических установок и для модернизации ранее выпущенных установок отечественного и импортного производства.

     

     

     

     


      Электронные пушки – это объединённые в одном агрегате источник электронов с термокатодом, система вакуумного перепада с дифференциальной откачкой, системы фокусировки и отклонения пучка, вакуумный затвор и высоковольтный защитный кожух с кабельным вводом. ООО "Лаборатория вакуумных технологий" разрабатывает и выпускает электронные пушки по индивидуальным заказам и в серийном исполнении. Серийные пушки имеют маркировку ЭПА (Электронная Пушка Аксиальная) и содержат одну ступень дифференциальной откачки и одну магнитную линзу. Охлаждение находящихся под высоким потенциалом деталей – воздушное. Мощность пучка регулируется изменением тока…
    Источники питания электронных пушек В состав комплекта источников питания для электронных пушек входит высоковольтный источник ускоряющего напряжения и два источника питания накальных цепей пушки. Номинальная мощность электронно-лучевой энергоустановки определяется мощностью источника ускоряющего напряжения. Она определяется мощностью используемого в источнике трансформатора-выпрямителя и устанавливается при выполнении заказа по конкретным требованиям потребителя. Возможна поставка источников с номинальной мощностью 25, 60, 120, 210 и 630 кВт. Комплект источников питания накальных цепей выпускается в виде единого блока одного типоразмера для пушек всего диапазона мощностей. Он…
    Для распределения мощности электронного пучка по объекту нагрева и питания магнитных линз пушки ЭПА комплектуются блоком управления электронным лучом типа БУЭЛ, одинаковым для всех типов пушек. Блок содержит два стабилизированных источника питания магнитных линз, источник питания системы статического отклонения пучка, генераторы развёрток, коммутатор и электронно-лучевой индикатор. Генератор развёртки обеспечивает перемещение пучка по кругу, линии или эллипсу с произвольной ориентацией осей, а также по растру, а коммутатор – распределение мощности пучка одновременно по двум объектам нагрева при любом сочетании указанных видов…