Новости

    17-19 июня сотрудники «Лаборатории вакуумных технологий» (Beams&Plasmas) примут участие в 21-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технологии-2014», проводимой при поддержке Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Института проблем машиноведения, Российской академии наук, Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. 19 июня состоятся доклады Е. В. Берлина «Новое поколение вакуумных технологических установок» и В. Ю. Григорьева «Скоростное травление кварца и плазмохимический реактор для его реализации».

    Лаборатория вакуумных технологий (Beams&Plasmas) занимается разработкой серийных компактных установок широкого спектра применения и вакуумных технологических устройств к ним, а также специализированных решений под заказ, модернизацией вакуумного оборудования, оказывает консультации по технологическим вопросам.