close

    Новости

    14-16 апреля "Лаборатория вакуумных технологи" примет участие в 10-й международной выставке вакуумной техники, материалов и технологий "ВакуумТехЭкспо"-2015 (ВЦ "Сокольники", павильон №2). 15 апреля в 13-00 на стенде 323 состоится демонстрация установки вакуумного напыления Ника-2013 МН.

    Данная установка предназначена для напыления пленок произвольного состава (металлы, диэлектрики, полупроводники) на подложки до 150 мм. Одновременная загрузка машины — до 48 пластин диаметром 100 мм или более 100 пластин 60×48 мм.

    Основной метод напыления — магнетронный. Комплект технологических устройств включает в себя от одного до четырёх магнетронов, нагреватель и источник ионов. Установка полностью автоматическая, позволяет наносить многослойные покрытия с высокой скоростью напыления при низких энергетических затратах. Возможны любые комбинации слоев материалов из 4-х мишеней за один цикл, с ионной очисткой и нагревом. В комплект технологических устройств входит до 4 шт. линейных магнетронов оригинальной конструкции длиной 400 мм, ионный газоразрядный источник для очистки с холодным катодом ИИ 400 и малой расходимостью пучка, нагреватель.

    Модификация машины Ника-2013 РС позволяет наносить резистивные слои различного состава с контролем сопротивления плёнки по свидетелю при заданной температуре, напылять защитные диэлектрические слои.

    Модификация Ника-2013 ПС позволяет наносить металлические слои большой толщины, в том числе слои меди, никеля со скоростью до 2 мкм/мин на вращающийся барабан. При этом нагрев подложки меньше, чем при обычном магнетронном напылении.

    Ника-2013 является полноценной машиной для промышленного применения.

    10-я международная выставка ВакуумТехЭкспо состоится в Сокольниках с 14 по 16 апреля 2015, в пав.2. Стенд "ЛВТ" - №323. Ждем вас!

    Бесплатный электронный билет по ссылке: http://www.vacuumtechexpo.com/ru-RU/home/visitors/e-ticket/vacuumtechexpo_2015.aspx?page=registration

    Участие без регистрации - 500 руб.

    "Лаборатория вакуумных технологий" (г. Зеленоград, товарный знак Beams&Plasmas) приняла участие в 31-м инвестиционном форуме «Корея-Россия», проходившем г. Ульсане (Корея) 26 ноября 2013 года.

    Принимающей стороной выступали Министерство науки и планирования будущего, Министерство торговли, промышленности и энергетики и Технопарк г. Ульсана, с российской стороны организатором выступил Международный Научно-Технологический центр. Целью форума стало налаживание сотрудничества между промышленными регионами двух стран в сфере плазменной электроники, IT и нано-технологий. В работе форума приняли участие почти 200 человек, в том числе около 30 ученых и преподавателей из России. 9 корейских компаний организовали для участников форума экскурсии и технологические консультации на местные предприятия.

    Заместитель директора по науке ООО "ЛВТ" В.Ю. Григорьев выступил с докладом на тему: «Ионно-плазменная обработка поверхности с помощью радиочастотного плазменного генератора РПГ-128»

    Навигация по сайту