close
    Архив материалов за: Ноябрь 2016

    Лабораторией вакуумных технологий спроектирована и собрана новая версия установок 13-й серии. Ника 2013-500 — малогабаритная промышленная установка большой производительности с горизонтальной камерой. Установка выпускается в двух модификациях — МТ (магнетронное травление) для травления проводящих и диэлектрических слоёв и ПСО (проводящие слои с охлаждением) для напыления многослойных покрытий на охлаждаемую подложку.

    Установка занимает в плане 3 м2 (1600х1600х1900 мм, 800 кг). Машина имеет цилиндрическую камеру с горизонтальной осью из нержавеющей стали Ø500х500 мм с рубашкой охлаждения. Система откачки - безмасляная (криогенный или турбомолекулярный насос, сухой спиральный насос). Задний фланец: четыре позиции ISO63 для технологических устройств: до трёх магнетронов, ионный источник или генератор плазмы. Устройства напыление оснащены автоматическими заслонками. Загрузка: 15 прямоугольных подложек 60x48 мм либо 10 круглых диаметром 100 мм.

    «Лаборатория вакуумных технологий» (ЛВТ, Beams&Plasmas, Зеленоград) разрабатывает и производит серийные установки широкого спектра применения, а такжеобширную линейку вакуумных технологических устройств. Возможна модернизация любого вакуумного оборудования и его создание по параметрам Заказчика.

    Ознакомиться с работой установок: https://youtu.be/vvMfzbjreIY

     

    Опубликовано в Новости

    Навигация по сайту