Четверг, 20 Июль 2017 13:12

    О нас пишут: Установка Ника-2012 в центре коллективного пользования НИУ БелГУ

    Уникальная научная установка на базе комплекса технологических установок Ника-2012

    ВЛАДЕЛЕЦ ДАННОГО ОБОРУДОВАНИЯ: ЦКП: Технологии и Материалы НИУ «БелГУ»

    Базовая организация: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Белгородский государственный национальный исследовательский университет»

    Регион: Центральный, Белгородская область

    Адрес: 308015, г. Белгород, ул. Победы, д. 85

    НАЗНАЧЕНИЕ ПРИБОРА

    Комплекс технологических установок на базе НИКА-2012 оснащен двумя магнетронами (диаметром 100 мм) и двумя дуговыми источниками с сепарацией плазменного потока (диаметром 70 мм) предназначенными для напыления пленок произвольного состава (металлы, диэлектрики, полупроводники) на подложки размером до 100 мм. диаметром. В установке использована сухая откачка форвакуумным насосом ANEST IWATA и турбомолекулярным насосом на магнитном подвесе фирмы SHIMADZU. В состав установки также входит высокочастотный генератор плазмы РПГ-128 для создания плотной низкотемпературной плазмы - универсальной технологической среды для ионно-плазменной обработки поверхности, азотирования и карбонитрирования, ионного ассистирования; осаждения материалов в ионизованном состоянии, плазмохимического травления и осаждения. Ионные источники с холодным катодом, обеспечивает линейную плотность тока до 25 мА/см длины рабочей зоны

    ИНФОРМАЦИЯ ОБ ОБОРУДОВАНИИ

    Марка: Ника-2012

    Фирма-изготовитель: Лаборатория вакуумных технологий (Beams&Plasmas)

    Год выпуска: 2014

    Количество единиц: 1

    Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения