Гибридные ИС

    Для оснащения вновь создаваемых и технологического перевооружения существующих участков промышленного и опытного производтсва гибридных интегральных схем (ГИС или микросборок), Лаборатория вакуумных технологий предлагает следующее оборудование:

    • Для напыления резистивных сплавов высокопроизводительные малогабаритные установки Ника-2012 и Ника-2013 модификаций РС, в которых поставлен процесс напыления резистивных слоев (РС), а также нитридов любого номинала с контролем по свидетелю.
    • Для напыления проводящих слоев — разработаны и серийно выпускаются установки Ника-2012 и -2013 для магнетронного напыления металлов, до 4-х различных материалов в одном процессе, такие как хром - медь - никель, ванадий - алюминий, ванадий - медь - никель и т.д. 
    • Возможно травление резистивных и проводящих слоёв ионно-лучевым методом через резистивную маску (сухое травление).

    Благодаря технологиям высокоскоростного ионного и ионно-плазменного травления наше оборудование позволяет в ряде случаев полностью исключить химические методы травления из процесса производства ГИС.

    Установки имеют следующее назначение/позволяют реализовать технологии: