Главная страница

Универсальный вакуумный пост «Ника 2012» для отработки вакуумных технологий и обучения.

E-mail Print PDF
There are no translations available.

Универсальный вакуумный пост «Ника 2012» - малогабаритная вакуумная установка с большим количеством функций, предназначенная как для проведения исследовательских работ по нанесению и травлению слоев различных материалов, так и для ионно-плазменной обработки материалов и покрытий. Отличается удобством обслуживания и множеством легко перестраиваемых модификаций.

Read more...
 

Радиочастотный плазменный генератор РПГ-250

E-mail Print PDF
There are no translations available.

Генератор плазмыРПГ-250 - безэлектродный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности, предназначенный для установки внутри технологического объёма вакуумной камеры. Устройство может быть использовано для широкого ряда технологических процессов, в том числе:

  • напыление различных материалов в плазме инертных или химически активных газов;
  • ионное и плазмохимическое травление;
  • испарение, в том числе с дополнительной ионизацией паров;
  • плазмастимулированное осаждение из газовой фазы;
  • ионная модификация поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация и т.п.);
  • ионные очистка и ассистирование;
  • высокотемпературный отжиг.
Радиочастотный генератор плазмы РПГ-250
Рис. 1. Радиочастотный плазменный генератор РПГ-250

Радиочастотный генератор плазмы РПГ-250 пригоден для использования как в существующих технологических установках, так и в разрабатываемых. Основным элементом генератора является плоская катушка, через которую пропускается ток промышленной частоты (13,56 МГц). Генератор выполнен в алюминиевом корпусе, снабжён коаксиальным вводом, устанавливаемым в камеру на скользящем уплотнении. Рабочая поверхность защищена съёмным защитным экраном, выполненным из кварцевого стекла, что позволяет легко производить его очистку по мере загрязнения. Генератор может работать с любыми газами, не вызывающими осаждения низкоомных слоёв на поверхности защитного экрана.

Диапазон рабочих давлений 0,1..40 Па, максимальная мощность ВЧ — 3000 Вт (13,56 МГц). Максимальная концентрация плазмы (аргон): в свободном объёме — 5·1011 см-3, в реакторе специальной конструкции — 2,5·1012 см-3.

Паспорт устройства (.pdf 563 кб).

Read more...
 

Блок управления вакуумной системой универсальный (БУВС-У)

E-mail Print PDF
There are no translations available.

БУВС-УВ связи с тем, что большинство технологический установок имеют типовую схему вакуумной систему, нами был разработан универсальный блок управления вакуумной системой (БУВС-У). Блок имеет запас функциональных возможностей, обеспечивающих универсальность его примения как в создаваемой новой технике, так и для модернизации устаревшего оборудования. БУВС-У может быть использован для управления вакуумной системой установок серий УВН-70, 71, 74, 75, ВУ-1А, Оратория-9 и других.

Read more...
 

Радичастотный плазменный генератор РПГ-128

E-mail Print PDF
There are no translations available.


Радиочастотный генератор плазмы РПГ-128 РПГ-128 – высокочастотный индукционный (безэлектродный) генератор высокоплотной плазмы для технологических применений, специально сконструированный для установки во фланец смотрового окна установок типа УВН-71 или аналогичных. Поскольку в свое время ионный источник типа «Радикал» был выполнен именно для этой геометрии фланца, то РПГ-128 может устанавливаться и во фланцах вместо этого устройства (установки типа «70-я» и «79» Калининградского завода «Кварц» и т.п.)

РПГ-128 предназначен для генерации высокоплотной плазмы (1-2*1012 см-3 при мощности ВЧ-питания 13,56 МГц, 1 кВт) в различных газах и их смесях в широком диапазоне давлений (от 70 мПа до 100 Па).

Read more...
 

Электронно-лучевое оборудование для вакуумной металлургии

E-mail Print PDF
There are no translations available.

Мощные электронные пучки являются абсолютно чистым безынерционным источником нагрева с высокой (порядка 105 Вт/см2) удельной мощностью.

Электронный нагрев применяется в следующих технологиях:

  • плавка и рафинирование тугоплавких, жаропрочных и химически активных металлов и сплавов: титана, никеля, ниобия, циркония, гафния, молибдена, тантала, вольфрама и специальных марок сталей;
  • испарения металлов при нанесении покрытий, производстве фольги, полупроводниковых приборов;
  • испарения веществ для получения массивных деталей из несплавляемых материалов, например сплава медь-молибден;
  • литья изделий из жаропрочных и тугоплавких металлов;
  • изготовления многокомпонентных сплавов для мишеней магнетронных распылителей.

Преимущества электронного нагрева состоят в следующем:

  • возможность ведения непрерывного процесса от выплавки изделий из исходного сырья до получения готовых изделий, что обеспечивает в 2…3 раза меньший по сравнению с традиционными методами нагрева расход энергии на единицу конечного продукта;
  • очень высокая скорость испарения материалов, обеспечивающая производительность напылительных установок, недостижимую другими методами.

ООО "Лаборатория вакуумных технологий" изготавливает, поставляет и оказывает помощь по вводу в эксплуатацию электронно-лучевых энергоустановок мощностью 10…600 кВт. Энергоустановки включают в себя электронные пушки, источники питания и устройства управления электронным лучом. Они предназначены для комплектования вновь создаваемых электронно-лучевых технологических установок и для модернизации ранее выпущенных установок отечественного и импортного производства.

Read more...