Источники ионов
Мы выпускаем источники ионов в двух конфигурациях — круглые, с трубчатым пучком, и протяженные со значительным линейным участком. Погонная плотность ионного тока до 18 мА/см длины щели, или 36 мА/см длины рабочей зоны линейного источника. Диапазон рабочих напряжений - 1..5 кВ. Низкая расходимость пучка позволяет размещать источник вдали от мишени и снизить скорость его запыления. Вторичная плазма и эффект резонансной перезарядки ионов позволяет осуществлять обработку диэлектриков без применения катодов-компенсаторов.